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제이에스엠티
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031-366-2197
FAX
031-366-2198
설계 / 공정 / 해석
Design
Photo-Etching Metal Parts
Metal Mask (Before Tension)
- Photo-Etching Bias design
MFA (After Tension)
- Tension Properties / Shape
Processing & Analysis
High Precision Tolerance
-Vertical-Rotation Etching
MFA(Mask Frame Assembly)
-FEA(Finite Element Analysis)
-MFA Stress Compensation
제조기술
Metal Parts
-INVAR / SUS
-400 * 500
- H/E <30% @T
- Size Tol. ±20㎛
Frames
- Size 3,000 x 2,000 mm
- Size Precision ± 50 ㎛
- Thickness ± 25 ㎛
- Position ± 30 ㎛
- Flatness 30 ㎛
MFA (Metal Mask Assembly)
- OLED G2F or 12"-Wafer"
- PA ±25㎛
- Z-axis Sagging TBD
지식재산권 및 국책현황
특허 : 등록 1건
- 박막 공정용 오픈마스크 시트 및 제조 방법 : 제 10-2235244호
특허 : 출원 7건
- 회전형 수직 습식 에칭장치 : 10-2020-0104992
- 박막 증착용 마스크프레임 조립체 : 10-2020-0174335 / 10-2020-0174336
- 박막 증착용 가변 마스크 프레임 조립체 : 10-2021-0004365
- 박막 증착용 가이드 마스크 프레임 조립체 :  10-2021-0021803 / 10-2021-0021804
국책
- OLEDoS(OLED on Silicon) 용 고정밀 Metal Mask 제조 기술 개발
- 한국디스플레이산업협회//한국디스플레이연구조합 "2021 OLED 공정장비 핵심부분품 성능평가 지원사업" 선정
독창성 / 차별화
1 Step H/E Depth Control
기존 수평 에칭
- 단면 제어 X
- 2Step 제안
신규 에칭 공법
- 단면 제어 O : 고품질
- 1Step : 고수율
Total Solution Service
Frame / Mask / Tension
Address : 본사 : 경기도 화성시 우정읍 쌍봉로 658 화성스타트베이 129호 / 지점 : 경기도 화성시 양감면 초록로 532번길 40
Company : (주)제이에스엠티      TEL : 031-366-2197      FAX : 031-366-2198
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